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电感耦合等离子体质谱仪

测定超痕量元素和同位素比值的仪器。由等离子体发生器，雾化室，炬管，四极质谱仪和一个快速通道电子倍增管(称为离子探测器或收集器)组成。其工作原理是:将溶液样品送入等离子体光源，在高温下汽化,解离出离子化气体,通过铜或镍取样锥收集的离子,在低真空约133.322帕压力下形成分子束,再通过1~2毫米直径的截取板进入四极质谱分析器，经滤质器质量分离后，到达离子探测器，根据探测器的计数与浓度的比例关系,可测出元素的含量或同位素比值。其优点是:具有很低的检出限(达ng/ml或更低)，基体效应小,谱线简单，能同时测定许多元素，动态线性范围宽及能快速测定同位素比值。地质学中用于测定岩石、矿石、矿物、包裹体，地下水中微量、痕量和超痕量的金属元素，某些卤素元素、非金属元素及元素的同位素比值。

电感耦合等离子体质谱仪的工作原理

电感耦合等离子体质谱仪(ICP-MS)工作原理是根据被测元素通过一定形式进入高频等离子体中，在高温下电离成离子，产生的离子经过离子光学透镜聚焦后进人四极杆质谱分析器按照荷质比分离，既可以按照荷质比进行半定量分析，也可以按照特定荷质比的离子数目进行定量分析。该类型质谱仪主要由离子源、质量分析器和检测器三部分组成，还配有数据处理系统、真空系统、供电控制系统等。

常用的进样方式是利用同心型或直角型气动仪器产生气溶胶，在载答气载带下喷入焰炬，样品进样量大约为1ml/min，是靠蠕动泵送入仪器的。

仪器将溶液样品送入等离子体光源，在高温下汽化,解离出离子化气体,通过铜或镍取样锥收集的离子,在低真空约133.322帕压力下形成分子束,再通过1～2毫米直径的截取板进入四极质谱分析器，经滤质器质量分离后，到达离子探测器，根据探测器的计数与浓度的比例关系,可测出元素的含量或同位素比值。

电感耦合等离子体质谱(ICP-MS)

电感耦合等离子体质谱(ICP-MS)是20世纪80年代早期发展起来的商品化的分析技术。这项技术已经应用于几乎所有分析领域内痕量、微量和常量元素的测定。

该技术的优势包括:

（1）元素覆盖范围宽：包括碱金属、碱土金属、过渡金属和其它金属类金属、稀土元   素、大部分卤素和一些非金属元素；

（2）性能好：灵敏度高，背景信号低，检出限极低；        分析速度快：由于四极杆分析器的扫描速度快，每个样品全元素测定只需大约4分钟；

（3）线性范围宽：一次测量线性范围能覆盖9个数量级；能够提供同位素的信息。